ELEGRIP TAPE(贴背研磨胶带)
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概要
贴背研磨胶带被用于在对晶圆的背面进行研削(贴背研磨)时，保护电路面以回避外界异物所造成的损伤，崩裂、裂纹(开裂)以及脏污等的污染。随着晶圆的大口径化、薄型化以及高凸块设计的开发，对胶带所要求的主要特点为:①低污染、②对晶圆的追从性、③容易剥离这些方面。ELEGRIPTAPE满足这些要求事项，再加上由于它是非水溶性型，耐水环境，不需要进行清洗。
特点
- 对电路面等凸凹的晶圆具有优良的粘附性
- 防止尘埃的发生
- 对背面进行研削时，对水环境具有超群的研削精度(TTV)
- 具有优良的易剥离性
- 抑制粘附力随时间的变化
详细信息
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